四甲基氢氧化铵25%水溶液(Tetramethylammonium Hydroxide 25% Solution,简称TMAH,CAS号75-59-2)是一种强有机碱,分子式C?H??NO(以无水计),分子量91.15,外观为无色至淡黄色透明液体,密度约1.02 g/cm3(25℃),沸点110℃(分解),pH值≥13(25%水溶液)。其水溶液具有高导电性(电导率>50 mS/cm),与酸剧烈反应并释放热量,需避光保存于聚乙烯容器中(避免玻璃腐蚀)。工业级产品纯度≥99.9%(离子色谱法),金属杂质(如Na?、K?)含量≤1 ppm,广泛应用于半导体和电子工业。

核心优势与应用:

微电子蚀刻关键试剂

作为光刻胶显影剂(0.1%-2.5%浓度),可精准去除曝光区光刻胶(分辨率达10 nm以下),优于NaOH等无机碱(无金属离子污染);
硅晶圆各向异性蚀刻(20%-25%溶液,蚀刻速率50-100 nm/min),表面粗糙度<0.5 nm(AFM测定)。
有机合成高效催化剂

碱性强度(pKb 4.2)高于氨水,促进酯交换反应(如生物柴油制备),转化率提升15%-20%;
作为相转移催化剂,加速SN?反应(如 Williamson合成醚)。
安全与环保特性

分解产物为三甲胺和甲醇(LD?? 180 mg/kg,大鼠口服),可通过活性炭吸附处理;
相比KOH/NaOH体系,无金属残留(符合SEMI C12标准)。
操作时需佩戴防溅护具,避免吸入蒸气(TLV 2 ppm)。其在高端制造和绿色化学中的不可替代性,使其成为高附加值精细化学品代表。